Ntinye ego
Nweta nghọta ma mee ka usoro mmepe ahụ dị ngwa.
Advanced Energy na-ebunye ọkụ na njikwa njikwa maka ngwa ntinye ihe nkiri dị mkpa na geometry ngwaọrụ.Iji dozie ihe ịma aka nhazi wafer, azịza ntụgharị ike anyị ziri ezi na-enye gị ohere ịkwalite izi ezi, nkenke, ọsọ na usoro nkwughachi.
Anyị na-enye ọtụtụ ugboro RF, sistemu ike DC, ọkwa nrụpụta ike ahaziri ahazi, teknụzụ dakọtara na ihe nleba anya nleba anya okpomọkụ nke fiber optic nke na-enyere gị aka ịchịkwa plasma nke ọma.Anyị na-ejikọta ngwa ngwa DAQ™ na nnweta data anyị na ịnweta ohere iji nye nghọta usoro ma mee ka usoro mmepe dị ngwa.
Mụtakwuo maka usoro nrụpụta semiconductor anyị ka ịchọta ngwọta dabara na mkpa gị.
Ihe ịma aka gị
Site na fim a na-eji mee ihe n'ụdị sekit agbakwunyere na ihe nkiri na-eduzi na ihe mkpuchi (ihe owuwu eletriki), na ihe nkiri metal (njikọ njikọ), usoro ntinye gị chọrọ njikwa ọkwa atọm - ọ bụghị naanị maka njirimara ọ bụla mana gafee wafer dum.
E wezụga usoro ahụ n'onwe ya, ihe nkiri gị edobere ga-adị mma.Ha kwesịrị ịnwe usoro ọka achọrọ, ịdị n'otu, na ọkpụrụkpụ nke dabara adaba, wee bụrụ nke enweghị isi - nke ahụ na mgbakwunye na inye nrụgide nrụ ọrụ achọrọ (mkpakọ na tensile) na akụrụngwa eletrik.
Naanị mgbagwoju anya na-aga n'ihu na-abawanye.Iji lebara mmachi lithography (sub-1X nm nodes), usoro nhazi okpukpu abụọ na nke anọ jikọtara onwe ya chọrọ ka usoro ntinye gị mepụta na megharịa ụkpụrụ ahụ na wafer ọ bụla.
Ngwọta anyị
Mgbe ị na-ebuga ngwa nkwụnye ego kachasị mkpa yana geometry ngwaọrụ, ịchọrọ onye ndu ahịa a pụrụ ịdabere na ya.
Nnyefe ike RF dị elu yana teknụzụ dakọtara na-agba ọsọ na-enyere gị aka ịhazi ma kwalite izi ezi ike, nkenke, ọsọ na nkwughachi usoro achọrọ maka usoro nkwụnye ego PECVD na PEALD niile.
Jiri teknụzụ na-emepụta ihe DC anyị iji dozie nzaghachi arc nwere ike ịhazi gị, izi ezi ike, ọsọ na nkwughachi usoro achọrọ PVD (sputtering) na usoro nkwụnye ego ECD.
Uru
● Nkwụsi ike na plasma dịwanye elu na nhazigharị usoro na-abawanye mkpụrụ
● RF ziri ezi na nnyefe DC na njikwa dijitalụ zuru oke na-enyere aka ịkwalite arụmọrụ usoro
● Nzaghachi ngwa ngwa na mgbanwe plasma na njikwa arc
● Ọkpụkpụ ọkwa dị iche iche na ngbanwe ugboro ugboro na-eme ka nhọrọ ọnụọgụgụ etch dịkwuo mma
● Nkwado zuru ụwa ọnụ dị iji hụ na oge kachasị elu na arụmọrụ ngwaahịa