Ọkụ ọkụ na-atụgharị Microwave bụ ụdị ọkụ ọkụ microwave ọhụrụ sitere na teknụzụ inverter IGBT dị elu.Ọ na-ejikọta anode elu voltaji ike ọkọnọ, filament ike ọkọnọ na ndọta ike ọkọnọ (ma e wezụga 3kW ngwa ndakwa nri ike ọkọnọ).Igwe magnetron ebili mmiri na-enye ọnọdụ ọrụ.A na-eji ngwaahịa a na MPCVD, etching plasma etching microwave, ngwa ngwa plasma degumming na ubi ndị ọzọ.